产品详情
  • 产品名称:日本ULVAC爱发科重庆内藤优势出售

  • 产品型号:ULDEX-1600
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
批量式干法蚀刻设备 ULDEX-1600
详情介绍:

ULDEX-1600是一种太阳能电池硅基板,它是一种提供引入蚀刻气体并利用高频功率形成表面凹凸结构的工艺的器件。通过在硅基板的表面形成低反射的凹凸结构,可以提高太阳能电池的光吸收率,有助于提高电池转换效率。
ULDEX_data.jpg

特征

  • 高产量:4000pcs./hr
  • 结构简单:腔内无驱动
  • 维护简单

采用

  • 单晶硅衬底
  • 多晶硅衬底
  • 类单晶硅板

规格

ULDEX-1600
晶圆尺寸 (mm) □ 156
托盘安装数量(□ 156mm) 100 件。
房间组成 1) 工艺室 2 间客房
2) 传送机 选项
吞吐量 4000(ULVAC 标准条件)
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