ULVAC爱发科溅射设备重庆出售（现货） MLX TM -3000N 重庆内藤机械设备有限公司

主营产品:

光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。

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产品名称：ULVAC爱发科溅射设备重庆出售（现货）
产品型号：MLX TM -3000N
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

多室溅射设备 MLX TM -3000N 是一种用于半导体的薄膜沉积设备，可灵活响应各种工艺需求并实现高性价比。晶圆尺寸从 75 毫米到 200 毫米不等。

详情介绍：

特征

支持大 200 mm 的电路板尺寸

通过消除污染和高精度温度控制来控制薄膜质量

灵活的工艺支持，如Al嵌入、厚膜、层压等。

采用

以半导体布线为中心的金属化

规格

模型 MLX ^TM -3000N

设备配置运输系统六角形真空转移室 x 1 间

模块 L / UL 室 x 2（或 L / UL 室 x 1 + 脱气室 x 1）+ 多 4 个工艺室

板尺寸兼容Φ75mm~200mm

搬运机器人双拾取真空搬运机器人

控制系统电脑控制

采用功率器件（正面和背面）、UBM、安装器件、异形板

排气系统主排气 LL 室：干泵
输送室：涡轮分子泵
工艺室：低温泵

粗拉干泵

可安装的工艺气体系统多达 3 个系统

达到压力输送室：1.3 E-4Pa
工艺室：1.0 E -5Pa

电 50Hz / 60Hz, 3Φ, 200V

冷却水 0.2-0.3MPa，温度20-25ºC，100L/min

所需气体各种工艺气体：0.05-0.1MPa
N2气：0.05-0.1MPa

压缩的空气 0.55～0.75MPa

接地工作 A类接地

选项 Φ75mm～200mm晶圆可更换

快门机制

静电吸盘式基板加热机构

RGA：奎利

增加LL室涡轮分子泵

模型		MLX ^TM -3000N
设备配置	运输系统	六角形真空转移室 x 1 间
	模块	L / UL 室 x 2（或 L / UL 室 x 1 + 脱气室 x 1）+ *多 4 个工艺室
板尺寸		兼容Φ75mm~200mm
搬运机器人		双拾取真空搬运机器人
控制系统		电脑控制
采用		功率器件（正面和背面）、UBM、安装器件、异形板
排气系统	主排气	LL 室：干泵输送室：涡轮分子泵工艺室：低温泵
	粗拉	干泵
可安装的工艺气体系统		多达 3 个系统
达到压力		输送室：1.3 E-4Pa 工艺室：1.0 E -5Pa
电		50Hz / 60Hz, 3Φ, 200V
冷却水		0.2-0.3MPa，温度20-25ºC，100L/min
所需气体		各种工艺气体：0.05-0.1MPa N2气：0.05-0.1MPa
压缩的空气		0.55～0.75MPa
接地工作		A类接地
选项		Φ75mm～200mm晶圆可更换
		快门机制
		静电吸盘式基板加热机构
		RGA：奎利
		增加LL室涡轮分子泵

产品名称：ULVAC爱发科溅射设备重庆出售（现货）

特征

采用

规格