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  • 产品名称：ULVAC爱发科溅射设备重庆优惠促销

  • 产品型号：SME-200系列
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
溅射装置负载锁定型 多室 溅射设备 SME-200系列
详情介绍：
溅射装置负载锁定型

多室
溅射设备SME-200系列

它是一种多室型溅射装置，可配备多个处理室（*多 3 个室 200E、*多 5 个室 200J、*多 7 个室 200）。

特征

  • Φ200mm板可运输
  • 作为加工室的各种模块的阵容

介电模块
高温成膜模块
精密分布模块
蚀刻模块

采用

  • 电子元器件
  • 微机电系统
  • 电源装置
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