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  • 产品名称：日本ULVAC爱发科重庆库存促销出售

  • 产品型号：CS-200
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
溅射装置负载锁定型 负载锁定式 溅射设备 CS-200
详情介绍：

特征

  • 利用传统工艺数据和专有技术重新设计易用性
  • 通过在负载锁定室中安装盒式机构（选件）来提高生产率
  • *大基材转移尺寸为Φ300 mm（保证膜厚分布在中心Φ200 mm处）。
  • 支持多阴极堆叠/同时溅射
  • 通过触摸面板和配方输入的自动处理，省力的操作
  • 可记录数据

采用

  • 电极成膜/多层电极及同时成膜应用
  • 介电成膜、绝缘膜、钝化、保护膜等
  • 用于电子元件的研发和小规模生产

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