主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍：
退火装置
活化退火设备
PFS系列
详情介绍：
退火装置
活化退火设备PFS系列
PFS系列是与SiC工艺等需要高温处理的工艺相匹配的活化退火设备。*大可支持 Φ150 mm 的电路板尺寸。
特征
- *大支持Φ150mm板
- 可加热至2000°C
- 兼容高真空
- 批量处理25张/批次（也可提供5张加工机）
采用
- 用于 SiC 功率器件
- 研究与开发
- 用于批量生产
