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  • 产品名称：ULVAC中电流离子注入机重庆出售

  • 产品型号：SOPHI-200 / 260
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
离子注入机 中电流离子注入机 SOPHI-200 / 260
详情介绍：
离子注入机

中电流离子注入机SOPHI-200 / 260

中等电流离子注入机 SOPHI-200 / 260 是配备*新技术的 8、6 和 5 英寸离子注入机。我们接受样品。

特征

  • 配备先进技术的**平行束离子注入机。
    价格低廉，运行成本低可直接运输
    小而轻
    的超薄晶圆

采用

  • 半导体、电子元件
  • 功率器件用薄板工艺、SiC工艺
  • 研发

规格

物品 SOPHI-200 SOPHI-260
能量范围 3～200keV 3～260keV
光束平行度 0.2°或更小
均匀度 0.5% 或更少
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