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产品名称：ULVAC爱发科离子注入机重庆内藤贩卖
产品型号：IMX-3500
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

离子注入机用于研发的中电流离子注入机 IMX-3500

详情介绍：

离子注入机

用于研发的中电流离子注入机IMX-3500

中电流离子注入机IMX-3500是一款*大能量为200 kV、晶圆尺寸可达8英寸的离子注入机，是高校研发的理想选择。

特征

它的*大晶圆尺寸为 8 英寸，并配备了与非晶基板兼容的压板。
除了气体源，B、P、As离子都可以作为离子源，也可以使用易于**处理的固体蒸发源。
高压端子部分采用与量产设备相同的配置，确保高可靠性。

规格

活力	30-200keV（可选3-200keV兼容）
*大束流	11B + 400μA (200keV) 31P + 600μA (200keV)
*小束流	150nA
离子种类	B、P、As、Si、Ge、Sb、In 等

产品名称：ULVAC爱发科离子注入机重庆内藤贩卖

用于研发的中电流离子注入机IMX-3500

特征

规格