产品详情
  • 产品名称:日本ULVAC爱发科离子注入机重庆贩卖

  • 产品型号:SOPHI-400
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
高能离子注入机,*高可支持Max2400KeV。
详情介绍:
离子注入机

高能兼容离子注入机SOPHI-400

高能离子注入机,*高可支持Max2400KeV。

特征

  • 单叶型
  • 兼容薄晶圆
  • 平行光束

采用

  • 功率器件薄板工艺、IGBT工艺

规格

  • 板尺寸:Max200mm
  • *大电压:2400 keV
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