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  • 产品名称：日本ULVAC爱发科离子注入机重庆出售

  • 产品型号：索菲-30
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
低加速度高浓度 离子注入机 索菲-30 支持低加速度和高浓度的离子注入机。
详情介绍：

特征

  • 单叶型
  • 兼容薄晶圆
  • 无质量分离器
    * 与无质量分离器相比的优势
    1) 低加速度和高浓度的高通量离子注入机
    2) 与传统相比，价格低约一半
    3) 紧凑型设计，设备占用面积为传统的 1/3

采用

  • 功率器件薄板工艺、IGBT工艺

规格

  • 板尺寸：Max200mm
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