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产品名称：日本ULVAC爱发科蚀刻装置重庆贩卖
产品型号：NE-7800H
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

蚀刻装置高密度等离子干法蚀刻设备 ULHITE TM NE-7800H

详情介绍：

蚀刻装置

高密度等离子
干法蚀刻设备ULHITE ^TM NE-7800H

高密度等离子干蚀刻设备 ULHITE ^TM NE-7800H 是一种多室型低压、高密度，支持蚀刻 FeRAM 中使用的难蚀刻材料（铁电体、贵金属、磁性薄膜等）、MRAM、ReRAM、PCRAM等。是等离子刻蚀设备。

特征

磁场ICP（ISM）法-低压高密度等离子体处理非挥发性材料的专用机
我们提供从常温到高温（400ºC）的蚀刻解决方案，层压薄膜的批量蚀刻和硬掩模的去除。
通过从腔室到排气管线和 DRP 的均匀加热来进行仓库测量。
在抑制维护清洁成本和颗粒产生的结构和材料以及加热机制等非挥发性材料的蚀刻方面具有丰富经验的量产设备。
实现长期重现性和稳定性。

采用

FeRAM、MRAM、ReRAM、CBRAM、PcRAM等

规格

物品	规格
设备配置	磁带室/自动装载机
	运输室
	蚀刻室
	预热室（可选）
	前后处理室（选配）
可加工板尺寸	6.8 英寸
膜式	铁电/高介电材料、磁性材料、电极材料等
面内均匀度	± 5% 或更少
等离子源	ISM（磁场 ICP）
基板电极温度	~ 400ºC ± 5ºC
沉积措施	法拉第屏蔽机构/顶板加热机构/保护板加热机构等
工艺配方编辑方法	多步法

产品名称：日本ULVAC爱发科蚀刻装置重庆贩卖

高密度等离子 干法蚀刻设备ULHITE TM NE-7800H

特征

采用

规格

高密度等离子
干法蚀刻设备ULHITE ^TM NE-7800H