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  • 产品名称：日本ULVAC爱发科重庆贩卖商（内藤）

  • 产品型号：TM -300
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
蚀刻装置 间歇式天然氧化膜去除剂 上升TM -300
详情介绍：
批量型自然氧化膜去除装置 RISE TM -300 是一种批量型预清洗装置，可支持 LSI 深触点底部等难以去除的自然氧化膜。兼容 300 mm 的目标晶圆。

特征

  • 实现高吞吐量和低 CoO
  • 良好的蚀刻均匀性（<±5%/批次）和重现性
  • 干法
  • 无损伤（远程等离子和低温工艺）
  • 将自对准接触电阻降低到传统湿法工艺的一半
  • 灵活的设备布局
  • 强调可维护性
  • 一次批量处理 50 300 毫米晶圆

采用

  • 自对准接触形成的预处理
  • 电容器形成过程中的预处理
  • 外延生长过程中的预处理

规格

模型 上升TM -300
等离子源 微波电源
设备配置 EFEM + LL + PM
板尺寸 Φ300mm
董事会阶段 陶瓷舟（50张/批）
排气系统 机械增压泵 + DRP
控制系统 FAPC+TFT触控面板
气体导入系统 3个系统
应用 SAC、电容器、外延生长的预处理
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