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  • 产品名称：日本ULVAC爱发科溅射装置贵州出售

  • 产品型号：uGmni-200, 300
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
溅射装置负载锁定型 单晶片复合模组式 薄膜沉积加工设备 uGmni-200, 300
详情介绍：

特征

  • 可以组合多个工艺室，例如溅射、蚀刻、灰化和 CVD。
  • 由 ULVAC 制造的所有工艺室
  • *大支持Φ300 mm板

采用

下面是一个例子。

  • 功率器件种子和金属层形成飞溅物
  • MEMS 传感器 PZT 成膜和加工蚀刻
  • 光学器件VCSEL加工蚀刻
  • 高密度实施 Descum Ashing
  • 通信设备绝缘膜成膜加工PE-CVD
溅射装置负载锁定型

单晶片复合模组式
薄膜沉积加工设备uGmni-200, 300

将溅射、蚀刻等多个不同的工艺模块安装在同一个传输核心上，并尽可能地共享组件。 screen 我们将实现转换。

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