主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍:
灰化装置
灰化装置
夜光NA系列
详情介绍:
灰化装置
灰化装置夜光NA系列
Luminous NA 系列是一种无晶圆尺寸的灰化设备,可以处理从关键的下一代晶圆工艺到晶圆级安装工艺的各种工艺。
特征
- 无损伤地实施下一代关键晶圆工艺所需的 1 x 10 16原子/cm 2或更高离子注入剥离工艺和聚合物去除工艺。
- 它的腔室配置*适合 F 基气体添加过程,并且不含颗粒。因此,可以从普通的PR构建离子注入剥离、有机膜剥离(PI、DFR等)剥离、氧化膜蚀刻等非常广泛的工艺。
- 通过采用简单的设备配置,同时实现了“**的可维护性和可靠性”和“低成本”。
- 可以实现灵活的腔室配置(μ 波、RIE、μ 波 + RIE),并且可以选择多种传输路径。
- 只需设置配方即可切换晶圆尺寸,更改晶圆尺寸非常方便。
采用
- 离子注入分离工艺(1 x 10 16 个原子/cm 2或更多)和前端工艺中的聚合物去除
- 需要CF 4添加工艺的晶圆工艺(电子零件/LED)
- 芯片尺寸封装和BUMP工艺
- CCD彩色滤光片制造工艺
规格
模型 | 对应晶圆尺寸 |
夜光NA-8000 | 100 毫米、125 毫米、150 毫米和 200 毫米 |
夜光NA-1300 | 200 毫米和 300 毫米 |