主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍:
薄膜聚合设备
有机/无机复合成膜设备
VEP系列
详情介绍:
薄膜聚合设备
有机/无机复合成膜设备VEP系列
VEP系列有机/无机复合成膜设备是一种可以通过薄膜沉积、溅射、等离子体聚合、气相沉积聚合等方法形成各种有机/无机材料的设备。您可以根据自己的目的自由选择加工室。
特征
- 一个单一功能的真空处理室可以组合多个成膜室。
- 可以在真空中连续进行一系列加工。
- 您可以根据有机材料的蒸气压选择蒸发源。
- 您可以在未来连接任何您想要的处理室。
采用
- 分子装置
- 生物传感器
- 有机EL/半导体
- 层间绝缘膜
- 有机功能薄膜
规格
设备名称 | VEP-1000 系列 |
腔体材料 | 由不锈钢制成 |
腔室尺寸 | 直径 350 毫米 x 高度 650 毫米 |
板尺寸 | 直径 2 英寸或 2 英寸见方 |
排气系统 | 油扩散泵或涡轮分子泵 |
达到压力 | 10 -4 Pa以下 |
基板加热 | *高温度250℃ |
基板转移 | 压缩水平传送法 |