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  • 产品名称：日本ULVAC爱发科重庆内藤贩卖商

  • 产品型号：ei系列间歇式高真空气相沉积设备
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
真空蒸镀设备 间歇式高真空气相沉积设备 ei系列
详情介绍：

真空蒸镀设备

间歇式高真空气相沉积设备ei系列

间歇式高真空气相沉积设备ei系列是一种在基板上沉积金属和氧化物的设备。适用于研发和小批量生产，可通过操作面板集中控制自动进行排气操作和成膜操作。

特征

  • 可安装多种蒸发源（EB、电阻、EB+电阻）
  • 根据工艺（升空、行星、卫星等）的板支架
  • 兼容Φ2in～6in基板、矩形基板、Si、化合物、玻璃、各种陶瓷基板
  • LCD触摸屏集中显示和操作
  • 优良的PC操作性和功能（配方功能、数据记录、维护辅助功能）

采用

  • 与功率器件等相关的化合物
  • LED、LD、高速器件
  • 用于各种实验
  • 其他一般电子元件

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