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  • 产品名称：复合成膜设备ULVAC爱发科重庆出售

  • 产品型号：VEP系列
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
真空蒸镀设备 有机/无机复合成膜设备 VEP系列
详情介绍：
真空蒸镀设备

有机/无机复合成膜设备VEP系列

VEP系列有机/无机复合成膜设备是一种可以通过薄膜沉积、溅射、等离子体聚合、气相沉积聚合等方法形成各种有机/无机材料的设备。您可以根据自己的目的自由选择加工室。

特征

  • 一个单一功能的真空处理室可以组合多个成膜室。
  • 可以在真空中连续进行一系列加工。
  • 您可以根据有机材料的蒸气压选择蒸发源。
  • 您可以在未来连接任何您想要的处理室。

采用

  • 分子装置
  • 生物传感器
  • 有机EL/半导体
  • 层间绝缘膜
  • 有机功能薄膜

规格

设备名称 VEP-1000 系列
腔体材料 由不锈钢制成
腔室尺寸 直径 350 毫米 x 高度 650 毫米
板尺寸 直径 2 英寸或 2 英寸见方
排气系统 油扩散泵或涡轮分子泵
达到压力 10 -4 Pa以下
基板加热 *高温度250℃
基板转移 压缩水平传送法
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