主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍：
CVD设备
单晶圆PE-CVD设备
CME-200E / 400
详情介绍：
CVD设备
单晶圆PE-CVD设备CME-200E / 400
单晶片PE-CVD设备CME-200E/400是量产型PE-CVD设备，非常适合硅基绝缘膜和阻隔膜的成膜。
特征
- 27.12MHz高密度等离子工艺
- SiH 4系：SiO 2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS 系：可提供SiO 2薄膜
- 使用NF 3 + Ar 等离子可以清洁腔室
- 可配备用于有机EL低温成膜的加热器
- 通过托盘运输支持*大 □ 200 mm (CME-200E) 的电路板尺寸（CME-400：兼容 300 x 400）
采用
- 电源装置
- LED、LD、高速器件
- 有机EL
- 太阳能电池
- 微机电系统
