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  • 产品名称：日本ULVAC爱发科重庆优势出售

  • 产品型号：ACS-4000
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
溅射装置负载锁定型 紧凑飞溅 ACS-4000
详情介绍：

特征

  • 成膜室设有维修口，便于进行靶材更换、清洗等维修作业。
  • 标准安装 3 个 2 英寸 LTS 阴极，与 4 英寸板兼容。非常适合降低高价值目标的运行成本。
  • 可通过PC自动操作各设备，通过配方输入法自动成膜。
  • 支持同时成膜和多层成膜的CO溅射法。
  • 控制面板变小，节省空间。

采用

  • MRAM、磁传感器等磁性材料器件的开发。
  • 试制金属薄膜、电极化成等电子器件。
  • 材料开发、新型功能膜试制。
  • 作为各种实验设备。

规格

达到压力 6.7×10 -5帕
排气系统 TMP + RP
板尺寸 Φ4 英寸 x 1 张
基板加热机制 MAX500ºC加热
膜厚分布 ±5%（Φ80mm区域内）
目标大小 Φ2英寸LTS阴极×3
飞溅电源 射频/直流
气体导入系统 Ar：MFC控制
选项 基板直流偏置 基板加热 700ºC 基板水冷
准备室 反向溅射机构 阴极四重
烘烤机构 工艺气体（氧气）
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