ULVAC爱发科皮拉尼真空计换能器类型SP1 重庆内藤机械设备有限公司

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产品名称：ULVAC爱发科皮拉尼真空计换能器类型SP1
产品型号：
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

传感器单元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼规型测量单元。传感器单元采用触针和电路部分一体化的结构（可更换触针），是适合降低成本和节省空间的真空计。销售中心-重庆内藤naitokikai

详情介绍：

传感器单元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼规型测量单元。
传感器单元采用触针和电路部分一体化的结构（可更换触针），是适合降低成本和节省空间的真空计。

特征

变送器规格：不需要压力指示器时，
・减少真空计成本
・节省控制面板周围的空间
・节省配线
等。
易于更换手写笔
灯丝材料采用耐腐蚀铂金。
您一直在使用的手写笔（SP1：WP-01、02、03、16）可以按原样使用。
可以输出两个设定点
SP1：压力为0～5V输出（非线性输出）
电源电压：可使用DC24V输入

用法

用于各种制造设备（包括半导体和电子元件）的低真空区域过程控制
用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制
用于在线型、单晶圆型等具有多个工艺室的各种制造设备的低真空区域的过程控制

类型	传感器单元
模型	SP1
自适应探头	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
测量精度	±15% (51Pa 至 760Pa)
	±30% (10Pa 至 1000Pa)
	±50% (0.4Pa 至 3000Pa)
工作温度限制	10 至 40°C
采样时间	50ms 5次移动平均处理
测量值输出	非线性输出：DC0-5V (Max.10V)
	（更新时间）50ms
	(分辨率) 10mV
设定值 1/2 调整的输出	非线性输出：DC 0-5V (Max.10V)
控制输出信号	集电极开路，负逻辑
	错误信号
	设定值 1/2
LED显示屏	功率、误差、设定值 1/2
电源电压	DC24V±2V, 90mA (Max.)
输入/输出连接器	D-sub-15P（M2.6螺丝）
身体质量	190g（不含手写笔）
配件	输入/输出连接器 1套
配件	快速手册1份

IO、模拟地和电源地不隔离。

产品名称：ULVAC爱发科皮拉尼真空计 换能器类型SP1

特征

用法

产品名称：ULVAC爱发科皮拉尼真空计换能器类型SP1