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  • 产品名称：日本ULVAC干法蚀刻设备重庆出售

  • 产品型号：NLD-5700
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
蚀刻装置 用于光学器件和 MEMS 的 干法蚀刻设备 NLD-5700
详情介绍：
蚀刻装置

用于光学器件和 MEMS 的
干法蚀刻设备NLD-5700

用于光学器件和 MEMS 的干法刻蚀设备 NLD-5700 是配备磁中性线等离子体 (NLD) 源的量产干法刻蚀设备。（使用 ULVAC *初开发的磁中性线等离子体 (NLD) 配备低电压、低电子温度和高密度等离子体的干法蚀刻设备。）

特征

  • 通过在无尘室工作，可扩展至 2 个房间（NLD、磁场 ICP、CCP 和灰化室）。
  • NLD是一种可以控制空间和时间的等离子体，所以干洗很容易。
  • 实现轻松的腔室维护。
  • 我们提供从掩模蚀刻到石英/玻璃蚀刻的工艺解决方案。
  • 由半导体技术研究院提供的完整工艺支持体系。

采用

  • 光学器件（衍射栅、调制器、光波导、光开关等）、凹凸微透镜。
  • 流体路径创建 (μ-TAS) 和光子晶体。
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