蚀刻装置

量产用干法蚀刻设备NE-5700 / NE-7800

量产的干法蚀刻设备NE-5700 / NE-7800是一种可扩展的蚀刻设备，支持从一个腔室到多个腔室，并强调性价比。

特征

• 除了一个腔室之外，还可以安装磁场 ICP (ISM)、NLD 等离子体源、灰化腔室和 CCP 腔室，以支持各种蚀刻工艺。
• 配备星形电极和各种温度控制功能，以实现工艺再现性和稳定性。
• 易于维护的结构，停机时间*短，用于再制造、零件供应、维护和培训服务的**备份系统。
• 由半导体技术研究院提供的完整工艺支持体系。

采用

• 化合物（LED、LD、高频器件）和功率器件（IGBT 布线加工、SiC 加工）。
• 用于金属布线、层间绝缘膜（树脂基）、栅电极加工工艺。
• 用于蚀刻铁电材料和贵金属。
• 用于加工磁性材料。