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  • 产品名称：日本ULVAC爱发科灰化装置重庆出售

  • 产品型号：夜光NA系列
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
灰化装置 灰化装置 夜光NA系列
详情介绍：
灰化装置

灰化装置夜光NA系列

Luminous NA 系列是一种无晶圆尺寸的灰化设备，可以处理从关键的下一代晶圆工艺到晶圆级安装工艺的各种工艺。

特征

  • 无损伤地实施下一代关键晶圆工艺所需的 1 x 10 16原子/cm 2或更高离子注入剥离工艺和聚合物去除工艺。
  • 它的腔室配置*适合 F 基气体添加过程，并且不含颗粒。因此，可以从普通的PR构建离子注入剥离、有机膜剥离（PI、DFR等）剥离、氧化膜蚀刻等非常广泛的工艺。
  • 通过采用简单的设备配置，同时实现了“**的可维护性和可靠性”和“低成本”。
  • 可以实现灵活的腔室配置（μ 波、RIE、μ 波 + RIE），并且可以选择多种传输路径。
  • 只需设置配方即可切换晶圆尺寸，更改晶圆尺寸非常方便。

采用

  • 离子注入分离工艺（1 x 10 16 个原子/cm 2或更多）和前端工艺中的聚合物去除
  • 需要CF 4添加工艺的晶圆工艺（电子零件/LED）
  • 芯片尺寸封装和BUMP工艺
  • CCD彩色滤光片制造工艺

规格

模型 对应晶圆尺寸
夜光NA-8000 100 毫米、125 毫米、150 毫米和 200 毫米
夜光NA-1300 200 毫米和 300 毫米
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