主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍：
真空蒸镀设备
单晶片沉积设备
EME-400
详情介绍：
真空蒸镀设备
单晶片沉积设备EME-400
单晶圆沉积设备 EME-400 是配备六角形芯的单晶圆负载锁定设备。由于每个工艺室通过机械手室由闸阀隔开，因此可以在没有污染的情况下连续成膜，使其成为适合生产的设备。
特征
- 成膜和加热室的选择性对接是可能的
- 支持高达 300 mm x 400 mm 的电路板
- 正面朝上运输使与转运机器的对接变得容易
- 由于基板旋转机制，薄膜厚度分布良好
- 基板加热*高温度350℃
- 使用横向 EB 枪的紧凑型设备配置
- 可选择安装棒料场或线场供料机构
采用
- 美联储等
