真空蒸镀设备

有机EL成膜设备塞尔达系列

ULVAC 拥有一系列用于有机 EL 材料开发的实验系统、用于批量生产的集群系统和在线系统。

特征

• ZELDA 系列是支持量产的系统。我们有丰富的应用，例如结合新开发的蒸发源。兼容板尺寸为 G6H 或更大。

采用

• 有机EL显示器、有机EL照明

规格

设备型号	塞尔达系列
使用应用程序	大量生产
板尺寸（*大）	G6H及以上
设备形式	集群式/内联式
节拍时间	2分钟~
系统配置	前处理→霍尔层→ 发光层(R) → 发光层(G) → 发光层(B) → 电子传输层→电极层