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  • 产品名称：ULVAC爱发科真空蒸镀设备重庆出售

  • 产品型号：间歇式真空成膜设备 ULEYES
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
真空蒸镀设备 间歇式真空成膜设备 ULEYES
详情介绍：
真空蒸镀设备

间歇式真空成膜设备ULEYES

这是一种批量式气相沉积设备（2 门方法），旨在在汽车前照灯反射器上形成铝 (Al) 薄膜作为反射膜和氧化硅 (SiOx) 薄膜作为保护膜。

特征

  • 2门式，一边进行蒸镀处理，一边在对面的门上拆装加工作业，提高了生产效率。
  • 铝薄膜在工件（加工品）自行旋转的同时均匀地形成。
  • 安装了轰击处理（RF辉光放电处理）机构作为工件预处理机构。
  • 排气系统上安装有低温阱，通过捕捉工件产生的水分，可以在短时间内排气。
  • 铝气相沉积是一种使用灯丝的电阻加热蒸汽源方法。
  • 作为保护膜，可以通过等离子聚合法(任选)形成SiOx膜的薄膜。
  • 可以选择增加粗加工单元。

采用

  • 汽车领域：车灯反射器、内饰件、标志
  • 消费领域：手机外壳、化妆品盖帽等。

规格

模型 ULEYES
腔体材料 SUS304
夹具类型 公转式
旋转轴有效面积 Φ560（6轴）×1500H，Φ460（8轴）×1500H（mm）
旋转轴有效区域（选项） Φ560（6轴）×1500H，Φ400（10轴）×1500H（mm）
承受负载（1轴） 52kg/轴、416kg/台
排气系统 油扩散泵+低温阱+机械增压泵+油回转泵
达到压力 5×10 -4 Pa以下
节拍时间（参考值） 15分钟
等离子聚合 射频阴极
所需占地面积
（包括设备本体、排气系统、操作面板）
W x L x H 		7.0mx 8.0mx 3.5m
所需电量 3Φ，200V，约105kVA
冷却水量 工业用水：约50L/min，城市用水：约10L/min
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