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  • 产品名称：西安优势出售CVD设备日本ULVAC爱发科

  • 产品型号：CC-200 / 400
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
CVD设备 负载锁定等离子CVD设备 CC-200 / 400
详情介绍：
CVD设备

负载锁定等离子CVD设备CC-200 / 400

负载锁定等离子 CVD 设备 CC-200 / 400 是一款紧凑且易于使用的设备，支持从研发到生产的所有方面。

特征

  • 27.12MHz高密度等离子工艺
  • SiH 4系：SiO 2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS 系：可提供SiO 2薄膜
  • CF 4 + O 2等离子室清洗可能
  • 对应有机EL用低温成膜加热器
  • 通过托盘运输支持各种板尺寸
  • C系列之间的间接连续工艺可以通过真空箱（溅射：CS-200，蒸发：CV-200）进行。

采用

  • 电源装置
  • LED、LD、高速器件等化合物相关产品
  • 有机EL开发
  • 太阳能电池开发
  • 微机电系统
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