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  • 产品名称：日本ULVAC爱发科实验设备重庆出售

  • 产品型号：CN-CVD-400
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
CVD设备 碳纳米管生长实验设备 CN-CVD-400
详情介绍：
ULVAC 开发了世界上**个在基板上垂直选择性地生长碳纳米管（以下简称纳米管）的技术。该技术利用微波等离子体CVD技术，可实现高纯度纳米管的量产，有望在电池、储氢等诸多领域带来划时代的性能提升。

特征

  • 纳米管可以垂直于衬底生长。
  • 纳米管只能在玻璃基板上的特定金属位点上直接和选择性地生长。
  • 生长过程中的衬底温度约为 600°C。
  • 配备加热机构/微波功率可变/基板加热/电场施加机构/热灯丝/排气系统添加/气体系统添加/负载锁定等选项。

采用

  • 半导体工艺（通过布线、栅电极）

规格

CN-CVD-400
*大板尺寸 4英寸
安装空间 3.5m x 1.7m x 2.1m（不含维修空间）
交流电 200V±10%
管道连接 NW25KF
稀释气体 氮>10 SLM
工艺气体竞争 录像机 6.35 毫米
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