产品详情
  • 产品名称:日本ULVAC水平在线溅射设备重庆出售

  • 产品型号:溅射设备 SCH系列
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
溅射装置串联式 水平在线 溅射设备 SCH系列
详情介绍:

溅射装置串联式

水平在线
溅射设备SCH系列

SCH 系列是一种水平在线溅射设备,可沉积透明导电薄膜和金属薄膜。支持太阳能电池生产线上的背面电极膜、绝缘膜等各种成膜工艺。

特征

  • 经多条量产线验证的高可靠性
  • 兼容大板和高混合板
  • 采用高倍率高效阴极
  • 支持多种成膜方法(depot down / depot up,DC / AC / RF sputtering)
  • 简单易维护

采用

  • 太阳能电池用透明导电膜、背电极膜、前驱膜、缓冲膜

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