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  • 产品名称：重庆出售单晶圆溅射设备ULVAC爱发科

  • 产品型号：溅射设备
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
SMD系列是单晶圆溅射设备，可沉积金属薄膜、ITO、IGZO、介电薄膜等。仅 SMD 系列就有超过 1000 台的丰富交付记录，并在各种生产环境中运行。从生产现场接收到的原始声音及时反映，进一步提高其可靠性。
详情介绍：

特征

  • 通过仅传输基板和使用侧库方法实现低颗粒
  • 节省空间的设计
  • 易于管理单个基板，例如成膜条件
  • 根据成膜物质的阴极阵容
  • 以丰富的经验和数据支持广泛的成膜工艺

采用

  • 彩色滤光片
  • 显示器（TFT、智能手机、平板电视（2K、4K）、OLED）

规格

模型 G4.5 G6 G8.5
贴片-950X 贴片-1800X 贴片-2400C
X型 立式
板尺寸（毫米） 730 X 920 1500 X 1850 2200 X 2500

房间组成

 1) 准备/拆除室 2 2 1
2) 加热室 1 ――――
3) 运输室 1 1 ――――
4) 飞溅室 2（*多 3 个阴极） 2（*多 2 个阴极） 四
5) 送板位置 ―――― ―――― 1
高真空排气系统 低温泵或涡轮分子泵 涡轮分子泵
送板系统 1 或 2 步臂 两级臂 托盘+滚筒输送系统
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