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  • 产品名称：日本ULVAC爱发科重庆优势出售

  • 产品型号：间歇式溅射设备
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
SV 系列是立式批量溅射设备。有专门用于磁盘压模的SV-200和可以处理大量电路板的转盘式。
详情介绍：

特征

  • SV-4540、6040、9045为转盘式，承印物量大，非常适合中小规模或小批量多品种生产。
  • SV-200 Disc Stamper 专门用于镍膜形成的设备，超紧凑，全自动，高产量

采用

  • 在各种基板上形成电极膜、绝缘膜、电介质膜

规格

SV-200 SV-4540 SV-6040 SV-9045
标准排气系统 8”低温泵 12”低温泵 12”低温泵 16”低温泵
达到压力 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa
仓库方向 边 边 边 边
成膜区 均匀
静态
旋转 		Φ200mm±5% L300mm ± 10% L300mm ± 10% L400mm ± 10%
基板加热 没有 250℃ 250℃ 250℃
控制系统 自动的 自动的 自动的 自动的

不包括选项SV-200 		涡轮泵 非水冷电极
油扩散泵 APC 机制
多个同时存储库 换板机制
下车厂 反应性飞溅
常规阴极
铁磁阴极
射频蚀刻清洗 (SV-4540)
偏置机制 (SV-4540)
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