主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍：
利用显微镜分光膜厚仪OPTM系列的高精度和微小光斑，它提供在线膜厚信息，例如晶圆图案化后的微小区域测量。
销售中心-重庆内藤naitokikai
详情介绍：
产品信息
特征
- 膜厚测量范围 1 nm 至 92 μm（SiO 2换算）
- 薄膜厚度值的高重复性
- 每点1秒以内的高速测量
- 图案可瞄准微小点（*小Φ3μm）
- 适用于图案化晶圆的膜厚测绘
- 可以获取用于图案对齐的图像
设备内置镜像
测量数据图像
测量点周围的图像
自适应过程示例
CMP工艺
蚀刻工艺
沉积过程
这样的
规格
