
主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍:
与波长相关的高精度多层膜测量!
销售中心-重庆内藤naitokikai
详情介绍:
产品信息
特征
- 使用光谱干涉法的薄膜厚度测量仪
- 搭载高精度FFT膜厚解析引擎(砖利第4834847号)
- 可由光纤构建灵活的测量系统
- 可集成到各种制造设备中
- 薄膜厚度可实时测量
- 支持远程操作和多点测量
- 使用长寿命、高稳定性的白色 LED 光源
测量项目
- 薄膜厚度
应用
- 光学膜(硬涂层、AR膜、ITO等)
- FPD相关(resist、SOI、SiO2等)
设备配置
单点型
- 半导体晶圆面内分布测量
- 玻璃基板面内分布测量
多点式
- 实时测量
- 流向质量控制
- 与真空室兼容
横移式
- 实时测量
- 宽度方向质量控制