产品详情
  • 产品名称:OTSUKA大塚電子内置膜厚监控器内藤naitokikai

  • 产品型号:
  • 产品厂商:OTSUKA大塚電子
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简单介绍:
与波长相关的高精度多层膜测量! 销售中心-重庆内藤naitokikai
详情介绍:

产品信息

特征
  • 使用光谱干涉法的薄膜厚度测量仪
  • 搭载高精度FFT膜厚解析引擎(砖利第4834847号)
  • 可由光纤构建灵活的测量系统
  • 可集成到各种制造设备中
  • 薄膜厚度可实时测量
  • 支持远程操作和多点测量
  • 使用长寿命、高稳定性的白色 LED 光源

 

测量项目
  • 薄膜厚度

 

应用
  • 光学膜(硬涂层、AR膜、ITO等)
  • FPD相关(resist、SOI、SiO2

设备配置

单点型

设备配置单点

  • 半导体晶圆面内分布测量
  • 玻璃基板面内分布测量

 

多点式

设备配置 多点

  • 实时测量
  • 流向质量控制
  • 与真空室兼容

 

横移式

设备配置 遍历

  • 实时测量
  • 宽度方向质量控制
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