OTSUKA大塚電子显微分光膜厚仪OPTM系列naitokikai 重庆内藤机械设备有限公司

主营产品:

光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。

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产品名称：OTSUKA大塚電子显微分光膜厚仪OPTM系列naitokikai
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产品厂商：OTSUKA大塚電子
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简单介绍：

OPTM 是一种通过使用显微镜光谱测量微小区域的**反射率来实现高精度薄膜厚度和光学常数分析的设备。各种薄膜、晶圆、光学材料等镀膜、多层膜厚度的无损、非接触测量。可以进行1秒/点的高速测量。此外，它配备了软件，即使是初次使用的用户也可以轻松分析光学常数。销售中心-重庆内藤naitokikai

详情介绍：

特征

膜厚测量所需的功能集成在测量头中
使用显微光谱法进行高精度**反射率测量（多层膜厚度、光学常数）
每点1秒以内的高速测量
实现显微镜下宽测量波长范围（紫外到近红外）的光学系统
区域传感器**机制
一个简单的分析向导，即使是初次使用的用户也可以进行光学常数分析
配备可自定义测量顺序的宏功能
也可以分析复杂的光学常数（多点分析法）
300mm载物台兼容
支持各种自定义

可以根据样品的形状和位置轻松定制测量顺序。

规格

类型	OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波长范围	230-800 纳米	360-1100nm	900-1600nm
膜厚范围^*1	1 纳米至 35 微米	7 纳米至 49 微米	16nm 至 92μm
样本量^*2	*大200×200×17mm
光斑直径	φ5、φ10、φ20、φ40

*以上规格适用于自动XY载物台。

*1 薄膜厚度范围换算为_{SiO2 。}

*2 如需 300 mm 载物台，请联系我们。

类型	自动XY载物台类型	固定架式	埋头式
外形尺寸（宽×深×高）	556×566×618mm	368×468×491mm	210×441×474mm 90×250×190mm ^*
重量	66公斤	38公斤	23 公斤 4 公斤^*
*大功耗	AC100V±10V 500VA	AC100V±10V 400VA