ULVAC单晶片等离子CVD设备（重庆内藤） CMD-1500 重庆内藤机械设备有限公司

主营产品:

光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。

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产品名称：ULVAC单晶片等离子CVD设备（重庆内藤）
产品型号：CMD-1500
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

通过为每个单元开发可以在比常规过程温度更高的温度下运行的驱动系统和真空传输机器人，已经实现了稳定的传输系统。 ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤） ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤） ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤）

详情介绍：

特征

通过为每个单元开发可以在比常规过程温度更高的温度下运行的驱动系统和真空传输机器人，已经实现了稳定的传输系统。
通过改善反应室和气体供应系统内部的结构，可以获得TEOS（SiO ₂）膜的长期稳定速率。
通过加热反应气体路径，可以将气体排出到排除的设备，并且可以在不使用管道疏水阀的情况下抑制副产物对管道等的附着，并且可以缩短维护时间。。
可以容易地进行诸如成膜条件的单独基板管理。

采用

低温P-Si，α-SiTFT

规范

		CMD-450BHT	CMD-650HT	CMD-950	CMD-1500	CMD-1800
板子尺寸（mm）		400 x 500 x t0.7	600 x 720 x t0.7	730 x 920 x t0.7〜0.5	1300 x 1500 x t0.7-0.4	1500 x 1800 x t0.7〜0.4
房间组成	1）准备/撤离室	2间
房间组成	2）暖气室	1间
	3）反应室	4个房间（如果有退火房间，则为3个房间）		5个房间（如果有退火房间，则为4个房间）
	4）运输室	1个房间（七边形）		1个房间（八角形）	1个房间（七边形）
	5）真空排气系统 /准备室 /取出室/反应室	旋转+机干+机干			干+麦加布
	6）移板机	选项
生产		65秒/张（我们的标准条件SiN 300nm单层）		75秒/张（我们的标准条件 SiN 300nm单层）	不带加热室：65秒/张带加热室：90秒/张（我们的标准条件为SiN 300nm单层）

产品名称：ULVAC单晶片等离子CVD设备（重庆内藤）

特征

采用

规范