ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤） SV-6040 重庆内藤机械设备有限公司

主营产品:

光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。

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产品名称：ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤）
产品型号：SV-6040
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

SV-4540、6040、9045是轮播型，具有大量基材，因此非常适合中小型或小批量高混合生产。 SV-200圆盘压模镍沉积专用设备，超紧凑，全自动，高产量 ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤） ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤） ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤）

详情介绍：

特征

SV-4540、6040、9045是轮播型，具有大量基材，因此非常适合中小型或小批量高混合生产。
SV-200圆盘压模镍沉积专用设备，超紧凑，全自动，高产量

采用

在各种基板上形成电极膜，绝缘膜和介电膜

规范

	SV-200	SV-4540	SV-6040	SV-9045
标准排气系统	8英寸低温泵	12英寸低温泵	12英寸低温泵	16英寸低温泵
到达压力	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa
仓库方向	侧	侧	侧	侧
成膜区域均匀的静态旋转	Φ200毫米±5％	L300mm±10％	L300mm±10％	L400毫米±10％
基板加热	没有	250℃	250℃	250℃
控制系统	自动	自动	自动	自动
选件 SV-200除外	涡轮泵		非水冷电极
	油扩散泵		APC机制
	多个同时仓库		板翻转机制
	下仓库		反应飞溅
	常规阴极
	铁磁阴极
	射频蚀刻清洁（SV-4540）
	偏置机制（SV-4540）

产品名称：ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤）

特征

采用

规范