ULVAC爱发科多室溅射设备（重庆内藤） MLX -3000N 重庆内藤机械设备有限公司

主营产品:

光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。

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产品名称：ULVAC爱发科多室溅射设备（重庆内藤）
产品型号：MLX -3000N
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

支持*大200 mm的板子尺寸通过消除污染和高精度温度控制来控制薄膜质量灵活的工艺支持，例如铝嵌入，厚膜和层压 ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤） ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤） ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤）

详情介绍：

特征

支持*大200 mm的板子尺寸
通过消除污染和高精度温度控制来控制薄膜质量
灵活的工艺支持，例如铝嵌入，厚膜和层压

采用

金属化以半导体布线为中心

规范

模型		MLX ^TM -3000N
设备配置	运输系统	六角形真空传输室x 1间
	模组	L / UL室x 2（或L / UL室x 1 +脱气室x 1）+*多4个处理室
板子尺寸		兼容Φ75mm-200mm
转移机器人		双选真空输送机器人
控制系统		PC控制
采用		功率设备（正面和背面），UBM，安装设备，不规则形状的基板
排气系统	主排气	LL室：干泵输送室：涡轮分子泵处理室：低温泵
	粗拉	干泵
可安装的过程气体系统		*多3个系统
到达压力		运输室：1.3 E-4Pa 处理室：1.0 E- 5Pa
电的		50Hz / 60Hz，3Φ，200V
冷却水		0.2-0.3MPa，温度20-25ºC，100L / min
所需气体		各种工艺气体：0.05-0.1MPa N2气体：0.05-0.1MPa
压缩的空气		0.55〜0.75MPa
接地工作		A类接地
选项		Φ75mm〜200mm可变晶片
		快门机制
		静电吸盘式基板加热机构
		RGA：奎莉
		增加LL室涡轮分子泵

产品名称：ULVAC爱发科多室溅射设备（重庆内藤）

特征

采用

规范