产品详情
  • 产品名称:ULVAC负荷锁定溅射设备(重庆内藤)

  • 产品型号:ENTRON-EX W300
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
基于我们传统型号ENTRON TM -W300 / W200系列的*新型号,其改进主要旨在提高生产率。 *多可以安装8个工艺(PVD,ALD,CVD等),以及2个(脱气,冷却)模块。 配备了新的传输机器人,机械吞吐量达到了100wph或更高。 我们提供*适合专用工艺或微型晶圆厂的S型(单型)和支持大型晶圆厂并灵活响应客户生产计划的T型(串联型)。 可以安装用于监视和管理设备运行状态的ED-PMS系统以及非接触膜厚度测量设备MESEC-BIT。 ULVAC爱发科间歇式溅射设备(重庆内藤) ULVAC爱发科间歇式溅射设备(重庆内藤) ULVAC爱发科间歇式溅射设备(重庆内藤)
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