主营产品:

光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。

搜索

产品详情

查看大图

产品名称：日本SIMCO思美高除静电离子棒5635 naitokikai有售
产品型号：
产品厂商：日本SIMCO
产品价格：0
折扣价格：0
产品文档：

你添加了1件商品查看购物车

简单介绍：

5635 型 Aerobar MP 离子发生器是一款超低颗粒兼容产品，专为需要 100 nm 或更小的细颗粒控制的静电消除应用而开发，例如在先进的半导体制造工艺中。

详情介绍：

特征

■单晶硅电极在全球范围内拥有****的
应用记录，具有超低颗粒特性，避免了电极材料造成的金属污染风险静电消除性能
■低电位摆幅特性，即使在高电压下也可使用距离为 100 mm，离子平衡在杆长度上几乎没有偏差 ■
智能控制电路始终自动管理离子发生状态和离子平衡
■可通过 1/4 圈拆卸的更换电极有助于减少维护人员-小时。MP
方法具有非常小的电位摆幅，这简化了设置。此外，小的电位摆幅有效地起到了将离子平衡长期保持在控制标准内的作用
。杆的长度根据EFEM设置半导体前端工艺
■紧凑型设计，内置 24V DC 驱动控制器
■全球范围内的**支持网络

规格

型号 5635 AeroBar MP

输入电压	24V 直流+/-10%
输出电压	高达约 13.5kv pp 可调
安装距离	100mm 至 1000mm（无空气吹扫）
离子发生方式	电晕放电方式 MP（脉冲调制）方式调制频率 1 ～ 33 Hz
离子平衡	自动平衡条内 <+/-10V 条正下方位置差 <+/-10v （600 mm 距离）
电极	单晶硅电极可更换
吹扫气体	清洁干燥空气或N2
*大吹扫压力	310Kpa
臭氧量	<0.05ppm（24小时积分值）
信号输出	报警IO集电极开路输出
尺寸	高78mm x 深34mm x 长度 450/600 /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下
外部的	ABS树脂

什么是扩展 ISO Class1,10nm？
扩展 ISO 1 级，10nm 这是 ION Systems 独特定义的清洁度定义，旨在支持细颗粒管理。ISO14644-1 规定*小粒径为 100nm。扩展 ISO Class 1,10nm 采用与 ISO14644-1 相同的允许颗粒数计算公式，对于粒径为 10nm 或更大的颗粒，允许颗粒数为 1200pc/m3 (34 pc/ft3)。

产品名称：日本SIMCO思美高除静电离子棒5635 naitokikai有售

特征

规格