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扩展ISO Class 1,内嵌N 2离子发生器型号,与10 nm型号4214兼容
即使在高纯度N 2环境下,4214型静电消除仪也支持“扩展ISO等级1,10nm”的高清洁度,并实现出色的离子平衡。
(详情请咨询TEL:18375760285QQ:1280713150 白先生)
http://www.tamasaki.cn/
关于扩展ISO等级1,10纳米
特点
规范
输入电压
24 V DC +/- 5%6 W(典型值)。
离子平衡
<+/- 25 V 150 mm距离40 LPM无管道连接
静电消除时间
<10秒150毫米距离40 LPM无配管连接
+/- 1 kv→+/- 100 v取决于充电板显示器
离子生成方法
电晕放电型高频交流系统
清洁程度
ISO等级1,0.1微米“扩展ISO等级10nm”*
电极
单晶硅可交换
相应的吹扫气体
N 2> 99.998%
流量
40 LPM(36.5 Kpa)至90 LPM(171 kPa)
*大吹扫压力
207 Kpa(= 100 LPM流量)
*高气体温度
60摄氏度
N 2吹扫连接
世伟洛克3/8“外径管道
电离N 2连接
世伟洛克1/2“外径管道连接,带1 / 4NPT内螺纹连接器或可选接头28-25710-SC
工作温度范围
15至60摄氏度
信号输出
打开/关闭触点时的报警和离子减少输出
维
长度152.4毫米x宽度72.4毫米x深度32毫米不包含
管道部分
重量
640克
外观
不锈钢
安装方法
背面M5螺丝螺丝长度小于10毫米
?ION Systems专门定义了清洁度的定义,以便应对精细的颗粒管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一个粒径10nm的