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产品名称：日本SIMCO思美高棒型负离子发生器
产品型号：5225 型
产品厂商：日本SIMCO
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简单介绍：

5225 型 Aerobar 负离子发生器是一种棒型负离子发生器，专门设计用于半导体等超洁净工艺设备。

详情介绍：

特征

■单晶硅电极，在世界范围内拥有****的
采用记录，由于其超低的颗粒特性和电极材料，避免了金属污染的风险
。
通过安装 5200-SR 外部静电消除目标附近的传感器（选项），可以反馈控制静电消除目标附近的离子平衡，而不是电离棒本身（连接 5200-SR 如果未连接，电离棒内置的传感器会自动调整离子平衡.)
■根据半导体前道工序EFEM设定棒的长度
■离子发生输出、离子发生时间、警报阈值等参数范围广可以用设定，可以灵活应对适用于远距离应用和弱气流环境
■仅通过数字输入参数即可获得高再现性，并可在短时间内完成设置
■除了简单的报警 IO，使用提供的 DLL 可以进行实时监控免费，有助于掌握过程设备内部的状态。

规格

型号 5225 AeroBar

输入电压	24V AC，50/60Hz，1W Typ. 由 IM6T 提供。
交流形式	RS485（IM6T 和 5225 之间）
输出电压	0kv 至大约 +/-20kv
输出形式	脉冲直流模式、稳态直流模式（可选）
输出电流	内置<15micro A电流和电压限制电路
连接接头	RJ11，4极4芯
离子产生时间	小0.1sec，大10sec 可分别设置正负
电极	单晶硅电极可更换
臭氧产生量	<0.005ppm（24小时综合测量）
相应的清洁度	ISO Class1，0.1 微米
尺寸	高 53mm x 深 31mm x 长 569mm (-22), 721mm(-28), 907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64), 1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84)
重量	-22：每加长1.02kg 0.17kg/30cm
外部的	ABS树脂

接口模块型号 5200-IM6T

输入电压	24V 直流 +/-5%, 1.5A
交流形式	以太网、RS232C
报警输出	继电器触点（** V4.0 及更高版本）
尺寸	高 74mm x 深 71mm x 长 315mm
重量	2公斤

产品名称：日本SIMCO思美高棒型负离子发生器

特征

规格