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产品名称：日本SIMCO思美高除静电电离器内藤naitokikai售
产品型号：扩展 ISO 1 级、10 nm 兼容棒型离子发生器 AeroBarMP 型号 5635
产品厂商：日本SIMCO
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简单介绍：

5635 型 Aerobar MP 电离器是一种超低颗粒兼容产品，专为需要 100 nm 或更小颗粒控制的静电消除应用而开发，例如先进的半导体制造工艺。

详情介绍：

产品信息

5635 型 Aerobar MP 电离器是一种超低颗粒兼容产品，专为需要 100 nm 或更小颗粒控制的静电消除应用而开发，例如先进的半导体制造工艺。

特征

■世界
采用
率*高的单晶硅电极，具有超低粒子特性，可避免因电极材料引起的金属污染风险静电消除性能100 mm 的距离和离子平衡，在杆长上几乎没有偏差 ■
智能控制电路自动管理离子生成状态和离子平衡
■可以用 1/4 圈拆卸更换电极有助于减少维护工时。 MP方法的特点是电位摆幅很小，简化了设置。另外，电位摆幅很小，有效地保持了控制标准内
的长期离子平衡
。根据半导体前端的EFEM设置棒的长度
■紧凑型设计，内置 24V 直流驱动控制器
■全球范围内的**支持网络

规格

5635 型 AeroBar MP

输入电压	24V 直流 +/-10%
输出电压	高达约 13.5kv pp 可调
安装距离	100mm 至 1000mm（无空气吹扫）
离子产生方式	电晕放电方式 MP（脉冲调制）方式调制频率 1 至 33 Hz
离子平衡	杆内自动平衡 <+/-10V 杆正下方位置差异 <+/-10v （600 毫米距离）
电极	单晶硅电极可更换
净化气体	清洁干燥空气或 N2
*大吹扫压力	310Kpa
臭氧量	<0.05ppm（24小时综合值）
信号输出	报警IO集电极开路输出
尺寸	高78mm x 深34mm x 长 450/600 /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下
外部的	ABS树脂

什么是扩展 ISO Class1,10nm？
扩展 ISO 1 级，10nm 这是 ION Systems 为支持精细颗粒管理而**定义的清洁度定义。ISO14644-1 定义*小粒径为 100nm。Extended ISO Class 1,10nm 使用与 ISO14644-1 相同的允许颗粒数计算公式，对于 10nm 或更大的粒径，允许的颗粒数为 1200pc/m3（34 pc/ft3）。

产品名称：日本SIMCO思美高除静电电离器内藤naitokikai售

产品信息

5635 型 Aerobar MP 电离器是一种超低颗粒兼容产品，专为需要 100 nm 或更小颗粒控制的静电消除应用而开发，例如先进的半导体制造工艺。

特征

规格