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  • 产品名称:重庆内藤供应HUGLE藤宫全自动FOUP清洁系统UPC - 12500 SORA

  • 产品型号:全自动FOUP清洁系统UPC - 12500 SORA
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简单介绍:
重庆内藤供应HUGLE藤宫全自动FOUP清洁系统UPC - 12500 SORA 重庆内藤机械设备有限公司 重庆内藤供应HUGLE藤宫全自动FOUP清洁系统UPC - 12500 SORA
详情介绍:

全自动FOUP清洁系统UPC - 12500 SORA

 

作为300毫米晶圆FOUP的自动清洗装置,我们改变了UPC - 12100的型号,取得了世界**的成就和信任。它以现代半导体制造不可或缺的高品质,高产量和节能的理念得到改进。它符合UL和CE标准以及SEMI标准。自动传输系统(AMHS)兼容,与GEM 300兼容的通信协议,适用于在线管理。
请务必考虑世界上***别的FOUP清洁设备。

 
产品概述

●高通量
●足迹设计
●节能
●全自动FOUP开放的交叉污染预防由
超精密用●2流体喷射清洗系统清洗
●高效率的干燥系统
●SEMI通信标准GEM300对应
●高交付
●SEMI S2, S8,符合CE标准

规范
装置主体:2200(宽)×3250(深)×2500(高)毫米(不包括投影) 
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