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  • 产品名称：TOPCON拓普康 曝光装置 TME-150R 重庆内藤销售

  • 产品型号：TME-150R
  • 产品厂商：TOPCON拓普康
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简单介绍：
特点 高分辨率的性能 凭借高性能的光学系统和高度**的机械控制，我们实现了L / S 7μm的高分辨率（50μm间隙设置）。 丰富的选择 可选择多年的专业知识来评估各种FPD成员。 有可能建立一个*适合您的研发应用的系统。 节省占地面积 基于多年积累的光学技术，通过采用高精度，小型化的光学系统，实现了节省占地面积。TOPCON拓普康 曝光装置 TME-150R 重庆内藤销售 TOPCON拓普康 曝光装置 TME-150R 重庆内藤销售 TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生
详情介绍：



产品概述
TME-150R主要是在构成平板显示器（FPD），手动曝光装置，专门*佳的性能和功能的部件的开发研究。

特别是影响液晶显示器的图像质量，光刻胶材料的评价拥有在各大厂商的大量成果，已经建立了业内*实际的状况标准超过20年。
该装置中，而节省空间的，低成本的，**曝光装置类似的光学性能的骄傲，支持产品的开发状态的*先进的客户。
特点
高分辨率的性能
凭借高性能的光学系统和高度**的机械控制，我们实现了L / S 7μm的高分辨率（50μm间隙设置）。
丰富的选择
可选择多年的专业知识来评估各种FPD成员。
有可能建立一个*适合您的研发应用的系统。
节省占地面积
基于多年积累的光学技术，通过采用高精度，小型化的光学系统，实现了节省占地面积。
 主要交付记录
半导体，LCD彩色抗蚀剂制造商
LCD面板制造商
LCD滤色器制造商
触摸面板制造商
有机EL面板的制造商
LED芯片厂商
半导体功率器件，制造商


主要规格

相应的工作量
Φ50至Φ200 mm或者□40至150 mm
工作厚度
0.5至1.1毫米
工作表格
硅片或玻璃*玻璃是液晶等级
面膜大小
工作尺寸+ 50毫米，厚度2.3 + 0.1毫米
曝光范围
Φ150毫米
曝光照度
38 mW / cm 2（i线λ= 365 nm），我们规格的1 kW超高压汞灯
照度不均匀
±5.0％以下
决议
L / S：7μm *接近间隙设定为50μm时
间隙设置范围
50至999微米
设备尺寸W×D×H
1,800×1,200×1,900毫米
设备重量
 大约600公斤

 

主要选项

■带通滤波器：i线/ h的线/ g线，其他303Nm，313nm处，334Nm 
■ND滤波器：50〜80 Pasento 
■偏振可变机构
■宽灯对应：2KW / 3.5KW / 5.0KW 
■软接触曝光功能
■多重曝光功能


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