产品详情
  • 产品名称:TOPCON拓普康 半導体表面検査装置 WM-10 重庆内藤销售

  • 产品型号:WM-10
  • 产品厂商:TOPCON拓普康
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简单介绍:
TOPCON拓普康 半導体表面検査装置 WM-10 重庆内藤销售 TOPCON拓普康 半導体表面検査装置 WM-10 重庆内藤销售 TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生
详情介绍:


产品概述

晶片表面检查装置WM-10对应6-8英寸或8到12英寸的晶片,它可以是裸露的(裸)粒子测定与48纳米的硅晶片的高灵敏度。装备有世界上第紫(蓝紫色半导体)激光器作为光源,一个拥有*佳的性能和在65〜90nm工艺节点压倒性性能价格比**模型。
产品功能
65〜90 nm工艺节点实现48 nm的*大检测灵敏度,适用于批量生产和原型设计
世界上**个大功率Violet-LD采用实现了运行成本的显着降低
业界*快的吞吐量
业界*小的小尺寸(12英寸兼容机)
通过安装2轴光学系统,可以实现微小划痕(微小缺陷)的缺陷分离
准备了各种选项,如自动灵敏度校正功能,COP分离,FOUP等


主要规格

  ► 光源  紫罗兰色LD(蓝紫色半导体激光)
  ► 检测/扫描方法  散射光检测/螺旋扫描方法
  ► *大检测灵敏度  48纳米*裸晶片
  ► 重现性  σ/X≤1%×99%以上
  ►进行检查  裸晶片,带电影的晶圆
 ► 相应的晶圆尺寸  12/8英寸,或8/6英寸
 ► 设备尺寸W×D×H  1,482×1,173×1,950毫米
 ► 重量  900公斤

 

主要选项

 ■自动灵敏度校正功能
 ■雾度测量功能
 ■地图叠加功能
 ■双晶片端口
 ■4英寸晶圆转移
 ■XY坐标输出软件(通讯)
 ■**通讯软件



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