ORC欧阿希半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售 PPS-8200 重庆内藤机械设备有限公司

主营产品:

光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。

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产品名称：ORC欧阿希半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售
产品型号：PPS-8200
产品厂商：ORC欧阿希
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简单介绍：

ORC欧阿希半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售 ORC欧阿希半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售 TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生

详情介绍：

高性能步进器，负责*先进封装技术的光刻工艺

■ 2.5D,3Dパッケージ ■ CIS/LED

■ TSV ■ IGBT

■ インターポーザ ■ MEMS

■ WL-CSP/FO-WLP ■ Bumping

■　可変レンズNA機構と等倍Dyson光学系
■　52x33mmの大面積露光フィールド
■　*大8フィールドの効率的なレチクルデザイン
■　周囲のケミカルとレジストアウトガスから光学系をプロテクト
■　薄ウェハ・TAIKOウェハ・反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系

■ 露光波長 ghi線,gh線,i線

■ 解像度 2μm L/S (2μmt）

■ 焦点深度 ≧10μm

■ 初期照度 ≧2700mW/cm2

■ 照度分布 ≦ ３％ (ghi線)

■ 露光フィールド 52 x 33 mm

■ オーバーレイ精度 ≦ 0.5μm (|AVE|+3σ)

■ 適応ウェハ 6,8,12inch

■ 装置寸法・重量 3460(D) X 2260(W) X
2500(H) / 5500Kg

■ ウェハ裏面マークでのアライメント機能
■ ウェハ周辺露光/非露光機能

■ 2.5D,3Dパッケージ	■ CIS/LED
■ TSV	■ IGBT
■ インターポーザ	■ MEMS
■ WL-CSP/FO-WLP	■ Bumping

■ 露光波長	ghi線,gh線,i線
■ 解像度	2μm L/S (2μmt）
■ 焦点深度	≧10μm
■ 初期照度	≧2700mW/cm2
■ 照度分布	≦ ３％ (ghi線)
■ 露光フィールド	52 x 33 mm
■ オーバーレイ精度	≦ 0.5μm (\|AVE\|+3σ)
■ 適応ウェハ	6,8,12inch
■ 装置寸法・重量	3460(D) X 2260(W) X 2500(H) / 5500Kg

产品名称：ORC欧阿希 半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售

产品名称：ORC欧阿希半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售