主营产品:
光学仪器、光学材料、实验仪器、手动工具、焊接工具、焊接材料、仪器仪表、静电设备、静电辅料、工业器材、气动元件、电工电气、测量工具、计量设备、气动工具、电动工具、化工设备、化工辅料、点胶设备、小型设备、储存设备、物流设备、工业安防、**防护、包装材料、切削工具、切削材料、办公设备、办公文 具、工装夹具、测试治具、机械加工。设备等。
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产品详情
简单介绍:
ORC欧阿希 半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售
ORC欧阿希 半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售
TEL:18375760285
QQ:1280713150
白先生
详情介绍:
■ 2.5D,3Dパッケージ | ■ CIS/LED |
■ TSV | ■ IGBT |
■ インターポーザ | ■ MEMS |
■ WL-CSP/FO-WLP | ■ Bumping |
■ 可変レンズNA機構と等倍Dyson光学系 ■ 52x33mmの大面積露光フィールド ■ *大8フィールドの効率的なレチクルデザイン ■ 周囲のケミカルとレジストアウトガスから光学系をプロテクト ■ 薄ウェハ・TAIKOウェハ・反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系 |
■ 露光波長 | ghi線,gh線,i線 |
■ 解像度 | 2μm L/S (2μmt) |
■ 焦点深度 | ≧10μm |
■ 初期照度 | ≧2700mW/cm2 |
■ 照度分布 | ≦ 3% (ghi線) |
■ 露光フィールド | 52 x 33 mm |
■ オーバーレイ精度 | ≦ 0.5μm (|AVE|+3σ) |
■ 適応ウェハ | 6,8,12inch |
■ 装置寸法・重量 |
3460(D) X 2260(W) X 2500(H) / 5500Kg |
■ ウェハ裏面マークでのアライメント機能
■ ウェハ周辺露光/非露光機能