产品详情
  • 产品名称:ORC欧阿希 半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售

  • 产品型号:PPS-8200
  • 产品厂商:ORC欧阿希
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简单介绍:
ORC欧阿希 半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售 ORC欧阿希 半導体用曝光装置 PPS-8200 重庆内藤销售 TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生
详情介绍:

高性能步进器,负责蕞先进封装技术的光刻工艺

■ 2.5D,3Dパッケージ ■ CIS/LED
■ TSV ■ IGBT
■ インターポーザ ■ MEMS
■ WL-CSP/FO-WLP ■ Bumping



■ 可変レンズNA機構と等倍Dyson光学系
■ 52x33mmの大面積露光フィールド
■ 蕞大8フィールドの効率的なレチクルデザイン
■ 周囲のケミカルとレジストアウトガスから光学系をプロテクト
■ 薄ウェハ・TAIKOウェハ・反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系


■ 露光波長 ghi線,gh線,i線
■ 解像度 2μm L/S (2μmt)
■ 焦点深度 ≧10μm
■ 初期照度 ≧2700mW/cm2
■ 照度分布 ≦ 3% (ghi線)
■ 露光フィールド 52 x 33 mm
■ オーバーレイ精度 ≦ 0.5μm (|AVE|+3σ)
■ 適応ウェハ 6,8,12inch
■ 装置寸法・重量 3460(D) X 2260(W) X
2500(H) / 5500Kg


■ ウェハ裏面マークでのアライメント機能
■ ウェハ周辺露光/非露光機能


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