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  • 产品名称：激光平面瞬时加热装置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加热器​

  • 产品型号：X-Laser
  • 产品厂商：SAKAGUCHI坂口电热
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简单介绍：
激光平面瞬时加热装置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加热器​ TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生 激光平面瞬时加热装置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加热器​
详情介绍：


ExLASER®系列工作测试可用！激光平面瞬时加热装置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加热器
ExLASER®是一种多功能激光平面瞬时加热装置。
特点
可以实现超高的温升和降温
2英寸衬底均匀加热1次
直接加热到被加热物体是可能的
温度控制适合于过程
不加热大气的节能

应用示例激光平面瞬时加热装置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加热器
MBE设备的基材加热
晶圆退火（SiC，GaAS等）
多层器件的表面退火是可能的（与小型化器件兼容）
体验的例子
日本原子能研究开发机构
激光输出：100W 
主体尺寸：H251×W200×D253（mm）
激光加热实验
EXL-CT-010DS55用于激光加热放置在真空室中的样品。从样品的背面（与激光照射侧相反的一侧）测量温度分布。
1.蓝宝石基板（φ2英寸）---适用于透明基板


温度分布

蓝宝石衬底的温度分布
（激光输出：1000 W）

快速升温/降温

蓝宝石衬底快速升降温度（平均衬底温度）
（激光输出：1000 W）



2.温度斜坡---使用组合光学

温度分布

金属板温度分布
（激光输出：86 W聚光灯）

温度梯度图

金属板的温度梯度

标准规范激光平面瞬时加热装置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加热器

型号：EXL-CT-010-DS55
激光照射法 直接类型 身材大小 H 625mm×W 700mm×D 320mm
激光输出 *大1千瓦 附件 专用冷水机组
激光波长 808nm 额定 身体：1P 200 V 20 A 
冷水机：1 P 200 V 15 A
激光形状 一个正方形
光学系统（均匀性） 均质机（±5％） 备注 JST原创造型
开发产品（2005年度）
加热区 □55毫米
工作距离 400毫米 -
激光平面瞬时加热装置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加热器



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