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用于研发“成套工具”的成膜装置

日期：2024-04-28 18:08
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摘要：用于研发“成套工具”的成膜装置

用于研发“成套工具”的成膜装置

用于研发应用的真空成膜设备。它*适合那些以低成本寻找溅射，气相沉积设备，等离子处理设备（表面改性，有机物去除等）的人。它是一种成膜设备“套件”，可以根据研发需要购买。用于研发“成套工具”的成膜装置

用于研发“成套工具”的成膜装置

应用实例

超亲水性 氧化钛光催化膜
抗氧化剂 金沉积在半导体的接触部分上
MEMS 通过成膜和蚀刻形成的微结构
微磁记录 形成具有高磁导率磁头磁膜的超薄磁轭
减少稀有金属的使用量 催化剂铂仅沉积在表面上
电磁波屏蔽 通过薄膜减轻重量和小型化
热敏头的加热元件 将精细加热部件制成薄膜
透明导电膜 平板显示器等
灯具反射器 LED外壳
各种滤光片 用于CCD的红外线切割和用于投影仪光源的光谱滤光片
防反射膜 眼镜和相机镜头涂层
首饰 在化妆品容器，家用电器等塑料上真空镀金属
防静电击穿，电磁波传播 手机和家用电器的橱柜装饰
（不连续薄膜;金属色但电流不流动）
可见光反射和红外光传输 卤素灯冷镜
氢传感器 通过氢吸收引起的透光率变化检测

成膜装置“套件”概要用于研发“成套工具”的成膜装置

  1. 室单元：室，闸阀，溅射源（或蒸发源或等离子源），观察口，样品台（选项：加热或冷却，射频应用）
  2. 排气装置：油旋转泵，涡轮分子泵（或油扩散泵+阀门），安装座等
  3. 真空管道:(带压力表端口，排气阀，进气口）
  4. 真空计1：皮拉尼真空计
  5. 真空规2：热阴极电离真空规（BA规）
  6. 真空规3：隔膜规用于研发“成套工具”的成膜装置
  7. 电源单元：用于溅射的直流电源（或用于溅射的RF电源+匹配盒或电阻加热蒸发电源）
  8. 气体引入装置：质量流量控制器（或针阀组）
  9. 样品运输机器人（手动型）
  10. 负载锁定和传输室:(用于4个室或6个室）盖子，粗抽阀，排气阀，安装
用于研发“成套工具”的成膜装置


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