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用于研发的辊式涂布机优选佐藤

日期：2024-04-28 18:08
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摘要：用于研发的辊式涂布机优选佐藤

用于研发的辊式涂布机优选佐藤

这是一款紧凑型高性能辊涂机，适用于研发，小批量生产。可提供等离子处理，溅射和气相沉积单元。

辊涂机用于研究和开发

主要规格

抵达压力 ×10 -5 Pa用于研发的辊式涂布机优选佐藤
真空表 BA表，电容压力计
工作规模 W 100 mm×L 200 m×t 50至100 um
进给速度 0.2至4米/分钟（CW / CCW可能）
真空罐 SUS304 W 500 x H 850 x D 450 mm
卷锥 φ250水冷式用于研发的辊式涂布机优选佐藤
轴封 使用磁力密封用于研发的辊式涂布机优选佐藤
成膜前的等离子处理 13.56 MHz RF电极×1公式
蒸发源 ①高达70×200直流磁控管型× 
2②电阻蒸发源
主泵 TMP 1100 L / s
湿气排出 CRYO超级陷阱
工艺气体 Ar，O 2，N 2，质量流量控制器使用
建筑面积 4平方米
效用 ·AC 200V3φ100A·冷却水
用于研发的辊式涂布机优选佐藤

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