产品详情
  • 产品名称:重庆内藤供应HUGLE藤宫SMIF POD清洁系统CP-2200容器清洗8英寸

  • 产品型号:SMIF POD清洁系统CP-2200
  • 产品厂商:HUGLE藤宫
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简单介绍:
重庆内藤供应HUGLE藤宫SMIF POD清洁系统CP-2200容器清洗8英寸 重庆内藤机械设备有限公司 重庆内藤供应HUGLE藤宫SMIF POD清洁系统CP-2200容器清洗8英寸
详情介绍:

SMIF POD清洁系统CP-2200

这是为了**清洁和干燥8英寸SMIF POD而开发的前端操作方法的手动设定方法。
CP-2200是一种清洁和干燥设备,适用于研究用途,中试线等,具有半导体设备和先进技术的容器清洁设备制造商独有的先进知识。
CP-2200也可以使用盒式清洁/干燥等。

产品概述

●SMIF箱,同时纯水射流清洗,基部内表面的气刀暖风干燥的盖部的内表面和外表面
●吊舱旋转时,设置在靠近喷嘴的精密清洗,干燥
●除了洗涤少量期间纯净水引流到预防**的产生
操作方便通过●触摸屏
●序器系统通过控制器
●友好的操作者的各种**装置
●维修方便
可以是各种各样的设计能够满足需求的办法●

规范


设定方法 手册
处理目标 8英寸SMIF POD / 8英寸盒式磁带
处理时间 1套/ 15分钟
外部尺寸 1300(宽)x 70(长)x 1580(高)毫米(当室门打开时)
重量 300公斤
电源 3相,200 VAC(带接地),8 KVA,50/60 Hz
纯净水 流量 10升/分钟(低要求流量)
压力 0.1 Mpa
CDA 
(干净的干燥空气)
流量 1600 NL / min
压力 0.7 Mpa
排气 发动机排量 2000 NL / min或更高
引流 流量 40升/分钟以上

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