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  • 产品名称：原装进口 棒式离子发生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高

  • 产品型号：AeroBarMP Model 5635
  • 产品厂商：SIMCO思美高
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简单介绍：
模型5635航空酒吧MP离子发生器是对应于先进半导体制造过程中开发的产品，如100纳米 原装进口 棒式离子发生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高 以下的微粒管理的应用程序中和超低颗粒是必要的地方 原装进口 棒式离子发生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高
详情介绍：

扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635
模型5635航空酒吧MP离子发生器是对应于先进半导体制造过程中开发的产品，如100纳米以下的微粒管理的应用程序中和超低颗粒是必要的地方

（详情请咨询TEL:18375760285QQ:1280713150 白先生）

http://www.tamasaki.cn/

特点
  • 单晶硅电极在全球范围内具有****的采用记录，避免了由于超低颗粒特性和电极材料导致的金属污染风险
  • 通过原始MP（脉冲调制）方法有效地将离子带入目标的高效静电消除
  • 即使在100毫米距离和离子平衡下也可以使用小的潜在摆动特性，而且在棒长度上几乎没有偏差
  • 智能控制电路自动管理离子发生状态和离子平衡
  • 可拆卸1/4圈可更换电极有助于减少维护工时
  • 由于MP系统的特点，潜在摆幅非常小，所以设置简便同时，小幅摆幅有效地将长期离子平衡保持在管理标准之内
  • 设置半导体前端EFEM对应的长度条
  • 24 V DC驱动控制器的紧凑设计
  • 高水平的全球支持网络
 
规范
5635型AeroBar MP
输入电压 24 V DC +/- 10％
输出电压 高达约13.5kv pp可调
安装距离 100毫米至1000毫米（无空气吹扫）
离子生成方法 电晕放电方式
MP（脉冲调制）方式调制频率1〜33Hz
离子平衡 自动平衡调整方法
<+/- 10 V由于位置正下方的位置差异<+/- 10 v 
（600 mm距离）
电极 单晶硅电极可交换
吹扫气体 清洁干燥空气或N 2
*大吹扫压力 310 Kpa
臭氧量 <0.05 ppm（24小时积分值）
信号输出 报警IO开集输出
维 高度78毫米x深度34毫米x长度如下
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
毫米
外观 ABS树脂

扩展ISO Class 1,10 nm？
关于扩展ISO等级1,10纳米？ION Systems专门定义了清洁度的定义，以便应对精细的颗粒管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一个粒径10nm的


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